性能指标

加速电压：0.5~30 kV；着陆电压：0.01 ~ 20 kV；电子枪：冷场发射电子源，支持柔性闪烁功能，包含阳极烘烤系统；二次电子像信息分辨率：0.6 nm@15 kV，0.7 nm@1 kV；半导体式背散射电子探测器(PD-BSED)；马达驱动轴：5轴马达驱动（X/Y/R/Z/T）；配备EDAX能谱仪。

主要应用

可提供材料的形貌、基本结构与成份信息；配合能谱仪可以对样品元素做点、线、面分布分析，以及对材料微区化学成分进行定性和半定量分析。

样品要求

扫描电镜不做磁性样品；对于粉末样品，要求样品均匀分散在硅片或铝箔纸上，也可直接涂抹在导电胶上。

仪器说明

该仪器广泛应用于化学、材料、食品、生物、物理、医学等学科的分析研究。